产品列表PRODUCTS LIST

首页>产品中心>英国EDWARDS爱德华真空泵>爱德华真空泵新泵>EPX 180真空干泵爱德华EPX 180真空干泵

爱德华EPX 180真空干泵

简要描述:

爱德华EPX 180真空干泵
EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、极小的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,可以远程安装

更新时间:2020-04-18

访问次数:171

爱德华EPX 180真空干泵

爱德华EPX 180真空干泵

应用目标应用包括:负载锁计量传输腔

灰化/剥离

PVD

爱德华EPX 180真空干泵

 主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 最小工具上泵之一,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。

受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年维修一次,zui大程度地延长了泵的 使用寿命。

运转时的噪声低至 56 dB(A),可在洁净室内实现低噪声。

泵系列

EPX180L、LE、N、NE

EPX180 TwinL、LE、N、NE

EPX500L、LE、N、NE

本公司作为爱德华中国区长期经销商以优于同行的服务质量和客户至上的服务理念赢的广大客户的肯定和认可 希望与更多爱德华及其他真空泵客户合作共赢

纵鹏机械设备有限公司是一家长期服务于真空泵领域内设备及配件的高科技企业,注册资产100万,公司销售人员达20余人,自公司成立一直致力于真空设备及配件的研究、推广、销售、安装及维修领域。

本公司经过多年不懈的努力,已拥有一支经验丰富的专业销售团队及精英人员,所经营的产品畅销国内外,公司以质量优良、操作简单,高性价比及周到的售后服务,使公司的效益得到迅速发展,为公司的长远发展打下牢固的基础。

公司主要经营:进口真空泵品牌德国(BUSCH)普旭、德国(BECKER)贝克、德国 (LEYBOLD)菜宝、德国 (RIETSCHLE)里其乐、英国( EDWARDS)爱德华、韩国(MVO)斗一、日本 (ORION)好利旺、日本爱发科;自主品牌有单级旋片泵ZP系列,双级真空泵ZS系列,罗茨真空泵ZLB系列,活塞泵ZH系列;并提供优恵的真空泵配件(进口):油雾分离器、碳精片、叶片、真空泵油、密封套件、空气过滤器、轴承、单向阀、连轴器、止回阀、机油格等。

产品广泛适用于:电光源、真空镀腹、机械、光盘、治金、石油、化工、造纸、食品、医药、电子、电力、陶瓷、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。

售后服务:公司拥有专业的维修技术人员及检测设备,并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务;服务承诺:凡在本公司所购真空设备,均享有一年免费保修期,并终身提供技术支持。

公司秉承着"诚信为本、信誉至上"的宗旨,不断创新改进,完善售后服务网络。我们以zui优xiu的产品,zui可靠的质量,zui优恵的价格,zui优质的的服务,愿同各界朋友互相合作,开拓美好未来。

纵鹏机械设备有限公司专业销售真空泵及真空泵设备配件,质量保证,价格优惠,竭诚为您提供zui合理的配置节约您的每一分成本,但凡我司之产品一律保质一年且免费维修,并终身提供技术支持,来电来函咨询治谈。

留言框

  • 产品:

  • 留言内容:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 省份:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
联系人
在线客服
用心服务 成就你我